2026年7月8日，2025年度国家科学技术奖励大会在北京隆重举行。由上海大学、上海微电子装备（集团）股份有限公司、合肥欣奕华智能机器股份有限公司（以下简称合肥欣智）、京东方科技集团、天马微电子股份有限公司、昆山国显光电有限公司、视涯科技股份有限公司、绵阳京东方光电科技有限公司、北京欣奕华科技有限公司共同完成的“新型显示高分辨大面积制造关键技术与装备及其产业化”项目，荣获国家科学技术进步奖二等奖。

         该项目针对新型显示高分辨大面积制造关键技术与装备，提出了高分辨显示图案自对准变革性技术路径，突破了大面积显示光刻图案化、像素蒸镀等关键技术，研制了自主可控的显示光刻机和蒸镀机等"卡脖子"尖端装备，攻克了大面积制造的高精度、高效率、高均一性和高良率难题，形成了完整的技术体系。合肥欣智作为项目核心完成单位之一，承担了蒸镀技术攻关与蒸镀装备研制任务，为项目成果的产业化落地提供了关键装备支撑。此次荣获国家科学技术进步奖二等奖，是对合肥欣智在新型显示高端装备领域十余年坚守与创新的高度肯定。

让“发光分子”乖乖“站”到该站的位置

          蒸镀机，被誉为OLED面板制造的“心脏”。它将有机发光材料精准、均匀地蒸镀到玻璃基板上，直接决定了屏幕的良率、寿命和显示效果。然而，这颗“心脏”曾长期被国外企业垄断——中国新型显示产业，一度面临“缺芯少屏”之后再缺“心”的严峻挑战。

         OLED蒸镀的难度，堪比在足球场上均匀撒下亿万个肉眼看不见的发光颗粒，每一颗都必须落到指定的“座位”上，厚度误差不能超过一根头发丝的千分之一。2015年，合肥欣智毅然布局OLED新型显示真空镀膜技术的自主研发。没有图纸、没有经验可循，团队从零开始，逐一攻克了蒸镀膜厚均一性控制、长时间热稳定性保障、高精密对位等核心难题，为公司研制高效率蒸发源设备、高精密掩膜版自动对位设备、高性能真空蒸镀成套设备等新型显示装备提供了坚实的技术基础。

         合肥欣智真空镀膜团队还提出高分辨率OLED显示功能层蒸镀系统构建新方案，突破了蒸发粒子在材料平衡蒸气压下的导向性控制技术、蒸发速率稳定性控制技术，设计并发明了有机材料共蒸分子掺杂比控制技术的线型蒸发源系统，以及高真空环境下大尺寸玻璃基板与掩膜版精准自对位系统。通过创新设计加热机构和冷却单元，自主研发温度场均匀性调控装置，合肥欣智成功将蒸镀膜厚均匀性控制在≤3%的国际先进水平——这意味着，每一颗“发光分子”都精准地落到了该站的位置，让OLED屏幕显示更加均匀、细腻、耐用。

让“中国心”直达显示产业现场

         作为蒸镀机核心研制单位，合肥欣智将相关技术成果应用于公司产品的研发与产业化，顺利推出OLED蒸镀机，该系列设备在长时间工作稳定性、重复定位精准性、缺陷检测准确性等关键指标上均达到国际先进水平，实现了对关键核心技术依赖进口问题的有效突破。

         技术突破只是第一步，真正的考验在于产业化应用。合肥欣智研制的相关技术产品导入并通过了多家显示面板龙头企业的生产线测试，实现了国产化技术的规模化推广应用，为OLED蒸镀机的产业化与标准化树立了标杆。截至目前，公司已完成从G1到高世代显示蒸镀机的系列化国产布局，小世代整机、蒸发源及高精密对位系统等核心装置均已批量交付客户量产应用。2026年初，公司自主研发的G4.5 OLED蒸镀机更斩获面板头部客户超亿元大单。国产蒸镀机的批量交付，让关键装备自主可控成为现实，让"中国心"真正跳动在新型显示制造的产业现场。

新型显示产业链合力突围

        此次获奖项目汇聚了产学研各方的优势力量。上海大学在新型显示技术基础研究方面积淀深厚，上海微电子装备在高端制造装备领域技术领先，合肥欣智则凭借在真空镀膜技术的深厚积累，承担了蒸镀机的研制与产业化任务。项目联合单位还包括京东方、天马微电子、昆山国显光电、视涯科技等显示面板龙头企业，形成了从技术研发到装备制造、再到产业化应用的完整创新链条。

        合肥欣智表示，将继续以国家重大战略需求为导向，持续加大研发投入，深耕OLED及下一代显示装备核心技术创新，为我国泛半导体高端装备自主可控和制造业高质量发展贡献更多力量。