2025年6月13日,合肥欣奕华智能机器股份有限公司(以下简称“欣奕华智”)宣布,其首台Micro LED激光巨量转移设备正式下线交付客户。该设备的成功开发与交付,标志着欣奕华智在新型显示技术领域取得了重大突破,将有力推动Micro LED产业的发展。
Micro LED作为新一代显示技术,具有高亮度、高对比度、高刷新率等优点,被广泛应用于电视、显示器、虚拟现实等领域。而激光巨量转移设备作为Micro LED制程中的关键设备之一,对于实现Micro LED的大规模量产至关重要。欣奕华智此次交付的Micro LED激光巨量转移设备,采用了多项自主研发的核心技术,具备多项行业领先优势。设备搭载超高精度运动平台,可实现精密自动对位和芯片高效巨量转移,芯片转移综合精度控制在1.5μm以内,确保了芯片转移的准确性和稳定性。同时,自主设计的光路系统,实现了光斑高均匀性和稳定性,为芯片转移提供了可靠的光学保障。此外,设备还具备晶圆姿态检测及校正功能、光斑位置自校正功能,进一步提升了设备稳定性和生产效率。
在兼容性方面,该设备最大支持G2.5代(370mmX470mm)基板,可满足不同客户的多样化需求。搭配欣奕华智自研的Micro LED准分子激光剥离设备、DPSS固体激光剥离设备,能够为客户提供一站式的Micro LED制程解决方案,助力客户降低生产成本,提高生产效率。
此次首台Micro LED激光巨量转移设备的交付,不仅彰显了欣奕华智自成立以来在新型显示领域不断积累的技术研发和创新实力,更为公司未来发展奠定了坚实基础。随着Micro LED技术的日益成熟和应用场景的持续拓展,欣奕华智的 Micro LED 激光巨量转移设备有望在市场中获得广泛应用。欣奕华智也将继续深耕技术创新,优化产品性能,进一步提升市场竞争力,致力于为我国新型显示产业在全球竞争中赢得优势,为推动行业高质量发展贡献力量,向着科技强国的目标稳步迈进。